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通道數 |
二、三、四、五、六、七、八通道 |
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配氣精度 |
±1.0%F. S. |
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MFC線性度 |
±0.5%F.S. |
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MFC重復精度 |
±0. 2%F. S. |
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漏氣率 |
1X10-9SCCSHe |
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靜密封材料 |
氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠） |
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預熱時間 |
5min |
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工作環境溫度 |
-20℃?55℃ |
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環境濕度 |
(15~85) % RH |
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外形尺寸 |
≤4通道：352mmX414<=""> |
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供電 |
220VAC 50Hz |
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配氣稀釋比 |
可通 1000:1、500:1、300:1、100:1。默認為 100:1 |
1. 維護期
系統完成驗收后開始，提供免費的約定質保維護周期，免費維護期滿后進入有償服務期，具體費用由雙方另行友好協商確定。
2.維護內容
（1）系統需求定義范圍內的功能上錯誤和漏洞
（2）由于系統配置的問題所導致的某些功能障礙
（3）下列問題不在免費維護范圍內
a.由于用戶自行修改產品所造成的錯誤
b.由于連入到本系統中的其他現有應用系統所出現的錯誤，或因其他應用系統的修改/變動對本系統所產生的影響及錯誤。
3. 售后技術支持聯絡
a. 技術郵箱：[email protected]
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